1500℃單溫區(qū)3路質(zhì)量流量計高真空CVD系統(tǒng)爐管采用高純氧化鋁制成，爐體采用一體式設(shè)計，獨(dú)特的設(shè)計能夠保證系統(tǒng)在1500℃運(yùn)行穩(wěn)定**，加熱元件采用高品質(zhì)硅碳棒，能夠達(dá)到1500℃高溫，若客戶有需求可以定制硅鉬棒加熱元件以達(dá)到更高的1700℃高溫。

系統(tǒng)所配有的三路質(zhì)量流量計，精度高可靠性強(qiáng)，可以準(zhǔn)確混合1~3路氣體，操作面板采用數(shù)字顯示，直觀高效。若客戶有特殊需要也可聯(lián)系技術(shù)人員定制任意數(shù)量的氣路。本系統(tǒng)還配有精密分子泵組，可以達(dá)到1.0E-3pa級別的真空度，較普通機(jī)械泵可以為用戶提供更純凈嚴(yán)苛的實(shí)驗(yàn)環(huán)境。

適用于高校、科研院所、工礦企業(yè)做高溫?zé)Y(jié)、金屬退火、質(zhì)量檢測等，尤其適合需要多種氣體混合的氣氛環(huán)境的CVD實(shí)驗(yàn)。

技術(shù)參數(shù)：

真 空 管 式 爐	產(chǎn)品型號	CY-1500-60-300-Q
	爐管材質(zhì)	高純氧化鋁
	爐管直徑	60mm(可選配50mm、80mm、100mm)
	爐管長度	1000mm
	爐膛長度	400mm
	加熱區(qū)長	300mm
	恒溫區(qū)長	150mm
	工作溫度	≤1450℃
	控溫精度	±1℃
	控溫模式	30段或50段程序控溫
	顯示模式	LCD
	密封方式	304不銹鋼真空法蘭
	法蘭接口	1/4英寸卡套接頭、KF16/25/40接頭
	可抽真空	4.4E-3Pa
	供電電源	AC:220V 50/60Hz
供 氣 系 統(tǒng)	產(chǎn)品型號	CY-3Z
	氣體通道	3通道
	測量部件	氣體質(zhì)量流量計
	測量量程	A通道：0～100SCCM    H2氣		備注：如需其它量程或氣體種類，定貨時需要特別注明。可根據(jù)客戶的具體要求來選配對應(yīng)的氣體種類和量程的流量計。
		B通道：0～300SCCM    N2氣
		C通道：0～500SCCM    Ar氣
	測量精度	±1.0%F.S
	管道耐壓	3MPa
	工作壓差	50～300KPa
	連接管道	304不銹鋼
	控制閥門	304不銹鋼針閥
	接口規(guī)格	進(jìn)氣口和出氣口為1/4英寸卡套接頭
	供電電源	AC:220V 50/60Hz
排 氣 系 統(tǒng)	產(chǎn)品型號	CY-GZK103-A
	分子泵	CY-600
	前極泵	旋片泵
	抽氣速率	分子泵：600L/S	綜合抽氣性能：20分鐘真空度可達(dá)：1.0E-3Pa
		旋片泵：1.1L/S
	抽氣接口	KF40
	排氣接口	KF16
	真空測量	復(fù)合真空計：電阻規(guī)+電離規(guī)
	極限真空	1.0E-5Pa
	供電電源	AC:220V 50/60Hz

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