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膜厚控制儀
技術特點:
1. 全觸屏操作,簡單易用;
2.32個膜系,每膜系50/100層自動鍍膜;
3. 12路信號輸入/12路開關量輸出;
4. 提供全自動、半自動、手動控制模式;
5.可控制2個源,一套工作另一套預溶;
技術參數:
| CY-FDC-S控制儀 | |
| 晶振頻率 | 6MHz(可選2.5M 3M 5M 9M晶體) | 
| 顯示方式 | 5”彩色觸屏+數碼管顯示速率和實厚 | 
| 操作方式 | 觸摸屏 | 
| 終 厚 | 00μ0000?-99μ9999? | 
| 厚度顯示分辨率 | 1?/s | 
| 速率顯示分辨率 | 0.1?/s | 
| 鍍膜層數 | 32膜系,每膜系50/100層; | 
| 探頭數量 | A B | 
| 工具因子 | 0.01-99.99 | 
| 時間顯示 | 00:00:00-23:59:59 H:M:S | 
| 功率顯示 | 0~99.9% | 
| 預熔功率 | 0~99% | 
| 預鍍功率 | 0~99.9% | 
| 預熔時間/預鍍時間 | 0~99:99 m:s | 
| 預熔保溫時間 /預鍍保溫時間 | 0~99:99 m:s | 
| 鍍膜速率(設定速率) | 0~999.9?/s | 
| 材料存儲 | 257+自定義10種 | 
| 通 訊 | RS232/RS485 | 
| 可控蒸發源 | 2個,可一套工作另一套預溶 | 
| 輸出控制 | ±10V/5V/2.5V | 
| I/接口 | 12路信號輸入/12路開關量輸出 | 
| 可控坩堝數量 | 1-16個 | 
| 鍍膜顯示 | 速率曲線/數值 | 
| 鍍膜巡回次數 | 每膜系50/100層自動 | 
| 機箱尺寸 | 480×280×89mm(2U 19”機箱) | 
		
特殊功能:
	
1、手動、半自動、自動3種鍍膜模式,滿足多種鍍膜機配置;
2、人工停止鍍膜:鍍膜過程中人工終止鍍膜;
3、手動控制:確定初次鍍膜工藝要求;
4、中斷膜系:自動和半自動鍍膜中發現問題或出現故障,能停止鍍膜并能自動保存當前狀態,待故障**后,可從中斷膜系繼續鍍膜;
5、自動或半自動鍍膜時,如晶振失效,可選擇按終止鍍膜、按當前功率時間鍍膜、切換晶片繼續(多晶片探頭);
6、兩個源同時預熔:當前層鍍膜開始過程中,可選擇同時對第2層進行預熔,以滿足對時間要求緊張的場合;
7、密碼保護:膜系和膜層參數密碼保護功能,保護工藝參數不被非工藝人員修改;
8、鍍膜數據記錄:自動或半自動鍍膜時,系統可記錄每層膜的成膜時間、*終厚度速率參數。
	
 
 
     
     
                             
                             
                             
                             
                             
                            